适用于多晶硅生产的自动控制导淋系统.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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适用于多晶硅生产的自动控制导淋系统.pdf

本实用新型公开了适用于多晶硅生产的自动控制导淋系统,属于多晶硅生产中控制设备技术领域。包括导淋储罐以及与导淋储罐连接的进料管网和出料管线,进料管网上设置有远程控制的进料阀,出料管线上设置有远程控制的出料阀;导淋储罐还连接氮气输送管线和放空管线,氮气输送管线上设置有远程控制的氮气控制阀,放空管线上设置有远程控制的放空调节阀;导淋储罐上设置在线远传的温度计、在线远传的压力表及在线远传的液位计。实现导淋储罐自动的进出料和自动平衡压力,进而有效保证多晶硅生产工艺的稳定性和可控性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213171481 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021867944.6 (22)申请日 2020.09.01 (73)专利权人 四川永祥新能源有限公司

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