一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置.pdfVIP

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2023-03-04 发布于四川
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一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置，包括门体和电机，所述门体的内部设置有密封条，所述密封条的内部设置有真空罩，所述真空罩的右侧设置有合页，所述合页的右侧安装有真空腔，所述电机安装于真空腔的上方，所述真空腔的内部安装有第一框架，所述第一框架的内部安装有螺栓，所述螺栓的下方安装有放置框，所述放置框的左右两侧均安装有卡块，所述真空腔的右侧安装有抽气管，所述抽气管的上方设置有等离子电弧源，且真空腔与等离子电弧源之间为固定连接。该离子镀膜装置设置有放置框，使得方便进行更换，并且设置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213142168 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022081713.9 (22)申请日 2020.09.21 (73)专利权人杭州久诚仁和电镀有限公司