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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种COF覆晶结合前的芯片表面微尘清除器，包括除尘室，所述除尘室下端固定安装有集尘室，所述除尘室上端分别固定安装有控制器和吹气装置，所述除尘室左端下侧和右端下侧均开有通孔，所述通孔内部共同贯穿有输送轨道，所述集尘室内部固定安装有抽气装置。本实用新型所述的一种COF覆晶结合前的芯片表面微尘清除器，通过将红外线接收器、红外线发射器、吹气装置、抽气装置和输送轨道均与控制器配合设置，从而实现芯片件的连续自动化除尘操作，提高了除尘效率；且粉尘传感器可保证芯片件的除尘效果；通过抽风机的作用将
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213162240 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021862461.7
(22)申请日 2020.08.31
(73)专利权人 衡
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