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显影真空蚀刻装置.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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显影真空蚀刻装置.pdf

    本实用新型公开了显影真空蚀刻装置，包括液筒、丝杆和轨道条，所述液筒的正面外壁安装有观察窗，且观察窗的外壁设置有刻度线，所述液筒的左右两侧外壁均固定有基板，且基板的外侧安置有连接板，所述连接板的外侧安装有连杆的一端，且连杆的另一端安装有滚珠滑台，所述丝杆连接于滚珠滑台的内部，且丝杆的顶端安装有伺服电机，所述液筒的底部连接有出液管，且出液管的右侧安装有加压泵，所述出液管的下端连接有喷头，所述轨道条安装于观察窗的右下角，且轨道条的外侧连接有滑块。该装置可以在液筒内部蚀刻液用量低于液位传感器的位置时，便

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213186730 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021943295.3 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 东莞佳创多层线路板有限公司

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