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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型提供一种碳化硅晶体退火坩埚及退火装置，该退火坩埚包括底部坩埚，底部坩埚；若干环形坩埚，依次叠置于所述底部坩埚上，位于最底部的所述环形坩埚的底端与所述底部坩埚的顶端螺纹连接，相邻的两个所述环形坩埚之间通过螺纹连接；顶盖，所述顶盖与最顶部的所述环形坩埚的顶端；所述底部坩埚、所述若干环形坩埚及所述顶盖共同限定出多个独立的退火腔体。利用本实用新型进行碳化硅晶体二次退火时，可以减小位于下方的晶体会受到上方晶体的压迫而产生外应力,降低碳化硅晶体在退火过程中因应力过大而造成晶体开裂的破损率，提高碳化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213172687 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021832997.4
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 中电化合物半导体有限公司
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