一种纳米压印翻模机工装治具.pdfVIP

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2023-03-04 发布于四川
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一种纳米压印翻模机工装治具.pdf

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本实用新型公开了一种纳米压印翻模机工装治具，包括硬模板，设置在硬模板上可上下浮动的环形挡圈，设置在硬模板上方用于取出软模板的取料盘；所述环形挡圈的外侧设置有一圈沿环形挡圈半径方向来回移动的离子风扩散装置，所述离子风扩散装置的内侧壁上均匀设置有离子风出风孔，在离子风扩散装置内设置有与离子风出风孔连通的主进风道及与主进风道连通的进风口；还设置有带动离子风扩散装置移动的驱动装置。本实用新型通过等离子风消除软膜表面的静电，减少软模板表面的颗粒和表面纳米级尺寸粘连，从而保证软模板的清洁度，满足高精度加工的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213149471 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022488650.9 (22)申请日 2020.11.02 (73)专利权人黄山博蓝特半导体科技有限公司