1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

外置式气相沉积设备排气装置.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约5.59千字
  • 约 7页
  • 2023-03-04 发布于四川
  • 举报

外置式气相沉积设备排气装置.pdf

    本实用新型公开了外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体，所述排气装置主体的内端中心设有中空管，所述中空管的侧端位置套接有套轴管，所述套轴管的侧端位置连通有排气部件，所述排气部件包括抽气端口、密封垫块、抽气机和连通管，所述抽气机设在排气部件的内端中心，所述抽气机的侧端位置与连通管相连通，所述连通管的底部位置与抽气端口相连通设置，所述抽气端口的侧部位置处与密封垫块相固定，所述抽气端口包括导管、第一导口盘和第二导口盘，所述导管设在抽气端口的内端中心，所述导管的侧端与第一导口盘相连通。本实用新型为

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213162381 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021643621.9 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人 苏州派华纳米科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >