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一种硅片分片吸盘组件.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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一种硅片分片吸盘组件.pdf

    本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件,包括集气板、密封板、插槽板和吸取组件，所述密封板位于集气板与插槽板之间，所述吸取组件包括第一吸盘和第二吸盘，所述第一吸盘和第二吸盘交错安装于插槽板上，所述第一吸盘和第二吸盘上固设有L型气道和凹槽，所述密封板为集气板与插槽板的进气通道进行密封，所述集气板为吸取组件供气，所述吸取组件通过凹槽吸取硅片，本实用新型采用至少两组凹槽结构对硅片进行吸附，增加吸附硅片的稳定性，本实用新型采用第一O形圈和第二O形圈对集气板、密封板和插槽板的安装进行密封，保证气体流通的密封性

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184249 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021866295.8 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人 无锡小强半导体科技有限公司

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