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本发明公开了一种铬金属复合靶材，其特征在于所述靶材由圆柱状铬靶材基体与铝材质的螺纹底座连接组合而成，其中靶材基体与铝材质螺纹底座为面面接触，靶材基体连接面为凸形结构，铝材质螺纹底座连接面为凹形结构，凸形结构和凹形结构相互嵌套连接。该靶材产品，在镀膜工作中，工作更加稳定，不易出现金属液滴飞溅污染膜层的质量问题，具有良好的商业应用前景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213172543 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202020282626.7
(22)申请日 2020.03.10
(73)专利权人 深圳市千禾盛科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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