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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型公开了一种C/C复合材料气相沉积炉，包括炉体、进气系统和排气系统，所述炉体为多晶硅铸锭炉炉体，所述炉体的底部设有进气口、顶部设有排气口，所述进气系统与进气口连接，所述排气系统与排气口连接。本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的改造思路，对现有多晶硅铸锭炉的排气模式以及进气模式进行改造，使得多晶硅铸锭炉具备了化学气相沉积的能力，使其具备C/C复合材料预制体CVD致密化工艺的能力，合理利用了闲置的多晶硅铸锭炉，有效的节约了制造成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213203186 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202022072201.6
(22)申请日 2020.09.18
(73)专利权人 湖南红太阳新能源科技有限公司
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