一种超低浓度快速切换的动态配气系统.pdfVIP

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2023-03-05 发布于北京
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一种超低浓度快速切换的动态配气系统.pdf

本实用新型提供了一种超低浓度快速切换的动态配气系统，由液体源或气体源(10)、背景气体(20)、背景气体(30)、空发生器(11)、压力和流量控制器(12)、微流体流量传感器(14)、微流控芯片(15)、气化室(40)、混气罐(50)、质量流量控制器(22)、质量流量控制器(32)、检测室(60)、吹扫装置(61)、传感器(63)、数据采集装置(70)、多个阀门以及用于各部件之间气体传输的管路组成；微流控芯片(15)控制气体或液体进入和流出；气化室(40)将液体汽化；混气罐(50)用于混合源气体

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213239673 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202020622010.X (22)申请日 2020.04.23 (73)专利权人南京多萝西信息科技有限公司

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