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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213209897 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021921283.0
(22)申请日 2020.09.07
(73)专利权人 张弓
地址 510
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