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研磨组件和研磨仪.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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研磨组件和研磨仪.pdf

    本申请提供一种研磨组件和研磨仪。该研磨组件包括支座、定研磨盘和动研磨盘，所述定研磨盘和所述动研磨盘相互配合；所述定研磨盘设在所述支座上，所述支座上设有升降机构，所述升降机构能调节所述动研磨盘进行升降移动，来调控所述动研磨盘与所述定研磨盘之间的间距。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213193916 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021717546.6 G01N 1/28 (2006.01) (22)申请日 20

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