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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及一种用于CVD炉隔绝碳毡粉尘、颗粒的防护罩，包括防护罩主体，防护罩主体为一端封闭另一端开口的圆筒结构，防护罩主体的封闭端中心设置圆形贯通孔，防护罩主体的封闭端的下表面沿着贯通孔设置有凹槽，所述的防护罩主体的顶部设置把手。本实用新型整体套装在CVD炉的反应腔上，防护罩底端直接接触反应腔底部，实现完全笼罩，使炉体内壁与大套筒之间空隙完全封闭，全面解决炉体内壁与大套筒之间空隙导致的粉尘、碳毡颗粒进入反应腔内的现状，使腔室内气体与碳毡内部隔绝，提高产品的稳定性，并通过防护罩隔离碳毡腔内粉尘
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213203188 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021757973.7
(22)申请日 2020.08.21
(73)专利权人 山东国晶新材料有限公司
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