原创力文档- 1
- 0
- 约1.32万字
- 约 11页
- 2023-03-05 发布于北京
- 举报
提供一种高精度高稳定性电子散斑干涉实时相位测量系统，其包括：迈克尔逊干涉仪，其包括相移镜和数字相机；压电陶瓷，用于前后移动所述相移镜；驱动器，用于驱动所述压电陶瓷；方波电压信号与三角波电压信号同步发生器，分别与所述驱动器和数字相机连接，所述数字相机以周期t在所述周期为4t的三角波电压信号内等时间间隔采集A、B、C和D四个时刻的四幅散斑干涉图像，获得对应的光强分布IA、IB、IC、ID，在所述4t时间内所述相移镜的位移为3λ/4或3λ/8；以及处理器，用于将所述IA、IB、IC、ID进行n等分，对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213208916 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202022357977.2
(22)申请日 2020.10.21
(73)专利权人 上海工程技术大学
地
文档评论（0）