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一种晶圆片寿命测试设备.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种晶圆片寿命测试设备.pdf

    本实用新型提供一种晶圆片寿命测试设备，包括：用于放置晶圆片的放置装置；用于对所述晶圆片双侧表面进行氧化的氧化装置；依次对氧化后的所述晶圆片双侧表面进行钝化和对其中一个被钝化的所述晶圆片表面进行载流子寿命测试的检测装置；以及用于操作所述晶圆片位置移动的操作装置；其中，所述操作装置被设置于所述放置装置和所述氧化装置之间，且与所述检测装置同侧设置。本实用新型可批量地对同一型号的硅片进行载流子寿命检测，测试结果精准，每组测试时间短，且自动化控制精准、整体联动性好，结构设计紧凑且合理，占用空间小，测试效率

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212113 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022530874.1 (51)Int.Cl.

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