原创力文档- 2
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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及一种冷却式不锈钢进气管，属于化学气相沉积技术领域。包括进气管、进水管和出水管，进气管、进水管和出水管均为中空圆柱体，进水管套装于进气管外侧，进水管两端密封，进水管下端设置进水口，进水管上端设置贯穿水孔，保证冷却水可以从水孔流入出水管，出水管套装于进水管外侧，出水管两端密封，出水管下端设置出水口，出水管上端端面与进水管上端端面平齐。本实用新型通过冷却水循环，带走进气管上的热量，降低高温环境对进气管的损伤，提高使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213206822 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021758814.9
(22)申请日 2020.08.21
(73)专利权人 山东国晶新材料有限公司
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