1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

用于深硅刻蚀后晶片的传送装置.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约5.88千字
  • 约 7页
  • 2023-03-05 发布于北京
  • 举报

用于深硅刻蚀后晶片的传送装置.pdf

    本申请涉及一种用于深硅刻蚀后晶片的传送装置，其包括：检测机台和安装在所述检测机台上的机台手臂，所述检测机台上设有用于对晶片进行检测的检测组件；所述机台手臂包括起抓取作用的抓取部、起限位作用的限位部和设置在所述机台手臂上的传感器。该深硅刻蚀后晶片的传送装置，可以有效检测各种沉膜颜色的晶圆，扩大了装置的检测范围，有效地避免了传送中晶片出现脱片的现象。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212135 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022870883.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >