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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型提供一种具有曝光功能的涂胶显影机，属于显影机技术领域，包括显影机本体，其主要特征在于，显影机本体的右侧正对面活动安装有开关控制器，开关控制器的上方开设槽有凹槽一，凹槽一的下表面固定安装有曝光灯，曝光灯的下表面活动安装有盖板，盖板的正对面固定安装有拉手，盖板的下方固定安装有托板，托板的下表面固定安装有真空装置，盖板的内壁嵌入设置有橡胶膜，托板的背面转动连接有合页，通过盖板内壁嵌入设置的橡胶膜，橡胶膜覆盖在半导体晶片的上方，防止粉尘掉落在半导体晶片的上方，导致曝光显影后半导体晶片表面留有杂
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213210722 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202022013272.9
(22)申请日 2020.09.15
(73)专利权人 无锡环亚微电子有限公司
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