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硅芯圆棒转运装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于四川
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硅芯圆棒转运装置.pdf

    本实用新型属于硅芯制备技术领域。鉴于现有的转运装置在将硅芯圆棒转运至预清洗位置进行预清洗时，存在硅芯圆棒容易碰撞磨损和清洗不干净的问题，本实用新型公开了一种硅芯圆棒转运装置，该装置包括支承架；置料箱，安装在支承架的顶部；置料箱具有一上端开口的容置空间；固定件，布设在置料箱的内部空间的底部；固定件的顶部设有用于和硅芯圆棒外表面相配合“U”形承接槽；其中，“U”形承接槽的表面设有自润滑涂层；容置空间和放置在“U”形承接槽上的硅芯圆棒相适应；当进行转运时，硅芯圆棒可完全容纳于容置空间内。该转运装置可避

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218558934 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202223113124.X (22)申请日 2022.11.23 (73)专利权人 四川永祥硅材料有限公司 地址 6

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