原创力文档- 2
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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及一种CVD沉积炉发热装置，包括汇流排、电极、发热棒，汇流排包括上汇流排和下汇流排，上汇流排下表面和外侧面设有通孔，下汇流排上表面设有通孔，电极位于上汇流排侧面，贯穿上汇流排侧面通孔设置，发热棒上端和下端分别与上汇流排和下汇流排表面通孔连接，汇流排内侧面设置有半圆形的凹槽，发热棒通过压块配以螺钉和螺母自侧面固定于汇流排上。本实用新型提供的CVD沉积炉发热装置，可以侧面安装，实现在单个CVD沉积炉中安装多个发热装置，多驱加热首先实现了炉内热量整体的均匀性，使得炉内上中下部区域温度偏差≤
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213203189 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021758034.4
(22)申请日 2020.08.21
(73)专利权人 山东国晶新材料有限公司
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