用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约1.95万字
  • 约 18页
  • 2023-03-05 发布于北京
  • 举报

用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉.pdf

本实用新型公开了一种用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉,用于单晶炉的石英坩埚包括:石英坩埚本体,包括底壁以及设在底壁的周缘且向上延伸的周壁,底壁的内表面形成有安装部;石英配合部件,邻近安装部的一侧形成有配合部,配合部与安装部相匹配以使石英配合部件与石英坩埚本体相连,当石英配合部件装配在石英坩埚本体上时,石英配合部件的一部分向上凸出于底壁的内表面。根据本实用新型的用于单晶炉的石英坩埚,通过配合部与安装部的配合,可实现石英配合部件与石英坩埚本体之间的可靠装配,一方面提供氧源,提高晶棒的氧含量。另一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203277 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021409031.X (22)申请日 2020.07.16 (66)本国优先权数据 2020202

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档