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一种晶圆传送系统.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种晶圆传送系统.pdf

    本申请公开了一种晶圆传送系统。晶圆传送系统包括：支撑平台；驱动电机，包括输出轴、第一输出轮和第二输出轮；第一输出轮和第二输出轮均与输出轴固定连接；多个传动轮组，包括第一传动轮、第二传动轮和传动轴，第一传动轮和第二传动轮设置于支撑平台两侧，传动轴连接于支撑平台；传送带组，包括第一传送带、第二传送带、第一输出带和第二输出带，相邻的第一传动轮由第一传送带带传动，相邻的第二传动轮由第二传送带带传动，第一输出轮和第一传动轮由第一输出带带传动，第二输出轮和第二传动轮由第二输出带带传动。本申请的通过电机直接驱

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212136 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202120570589.4 (22)申请日 2021.03.19 (73)专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司

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