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夹具及扩散装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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夹具及扩散装置.pdf

    本实用新型涉及夹具及扩散装置。夹具用于装配喷射管和扩散炉，夹具包括，安装座；以及定位部件，设置于安装座上，定位部件包括互相连接的定位件和连接件，定位件成对设置于连接件的两侧，连接件和位于两侧的定位件界定导向槽，导向槽对喷射管导向和定位。根据本实用新型的夹具，可以提高装置的有效运转时间，并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象，降低硅片的报废概率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212125 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202120586247.1 C30B 31/16 (2006.01) (22)申请日 2

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