原创力文档- 4
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- 2023-03-05 发布于北京
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一种坩埚喷涂机器人定位架，包括多个支撑柱，支撑柱底部可拆卸地设有底座，支撑柱上套接有纵向滑动套管，每个纵向滑动套管上设有两个滑动杆，两个滑动杆呈V形设置；底座上设有两个滑动杆，两个滑动杆呈V形设置；多个支撑柱上配备的滑动杆围合形成了多边形结构，相邻两个支撑柱之间的滑动杆通过连接杆滑动连接。本实用新型通用性高，适合目前市场多数矩形坩埚；结构简单，所有配件均可拆卸，方便收纳。适合目前市场上大尺寸硅片、铸造单晶等对坩埚尺寸要求变化高、喷涂细节要求高的喷涂机器人进行频繁对位程序调节。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213194233 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021809675.8
(22)申请日 2020.08.26
(73)专利权人 宜昌南玻硅材料有限公司
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