一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置.pdf

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本实用新型提供一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置。所述化学气相沉淀的基体支撑旋转装置包括：底座；腔体，所述腔体开设在底座上；安装槽，所述安装槽开设在腔体的一侧内壁上；电机，所述电机固定安装在安装槽的底部内壁上，所述电机的输出轴延伸至腔体内；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在电机的输出轴上；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在腔体内；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹管上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；空心管，所述空心管固定安装在底座的顶部；螺杆，所述螺杆螺纹安装在内螺纹管内。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203195 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021030481.8 (22)申请日 2020.06.08 (73)专利权人湖南铠欣新材料科技有限公司