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一种用于晶圆清洗机的清洗盘.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种用于晶圆清洗机的清洗盘.pdf

    本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的清洗盘，包括底座、弧形块、摆夹和真空吸盘，所述底座上表面设置有若干个等圆心角弧形槽，所述弧形槽包括最内侧一圈的第一弧形槽、最外侧一圈的第三弧形槽和中间一圈的第二弧形槽，所述真空吸盘下端面上绕轴心圆形分布设置有与定位孔相配套的定位柱。本实用新型结构简单，通过在真空吸盘上设置定位柱，在底座上设置定位孔，将真空吸盘安装到底座上，使得真空吸盘与底座连接形成一体式的清洗盘，产品更换时不用更换清洗盘夹具，提高了工作效率，通过在底座上设置第一弧形槽、第二弧形槽和第三弧形槽、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213197164 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021521126.0 (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人 苏州思达优科技有限公司

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