一种集成电路板用晶圆治具.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种集成电路板用晶圆治具.pdf

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本实用新型提供一种集成电路板用晶圆治具。所述集成电路板用晶圆治具包括安装座；安装槽，所述安装槽开设在所述安装座的顶部；圆盘，所述圆盘转动安装在所述安装槽内；多个弧形槽，多个所述弧形槽均开设在所述圆盘的底部；安装杆，所述安装杆滑动安装在所述弧形槽的内壁上；腔室，所述腔室开设在所述安装槽的底部内壁上，且所述安装杆的底端延伸至对应的所述腔室内；横板，所述横板滑动安装在对应的所述腔室内，且所述横板与对应的所述安装杆的底端固定连接；L形杆，所述L形杆固定安装在对应的所述横板的顶部。本实用新型提供的集成电路

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184255 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202022503306.2 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人苏州东永华精密工业有限公司