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一种钟罩式化学气相沉积炉.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种钟罩式化学气相沉积炉.pdf

    本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触。本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有使用方便、便有将沉淀炉本体

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203187 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021338521.5 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司

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