一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构.pdf

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本实用新型提供一种单晶炉导流筒固定装置，包括顶架、底架和连接所述顶架和所述底架的支杆组件，所述顶架与所述导流筒外壁相适配；所述导流筒被设置为贯穿所述顶架，并被内置于所述支杆组件围成的空间内悬空设置。本实用新型还提出一种包括该固定装置的运输机构。本实用新型固定装置，可稳固承载放置导流筒，并可保护导流筒整体的完整性，仅仅需要更换不同尺寸的顶架即可放置不同尺寸的导流筒，结构简单且易于加工，成本低且实用性强，使得整体拆卸导流筒的时间大大缩短。采用该固定装置的运输机构，易于操作且安全可控，使导流筒完整地被

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213232569 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021695449.1 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人内蒙古中环领先半导体材料有限