悬挂式气相沉积加速筒.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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悬挂式气相沉积加速筒.pdf

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本实用新型公开了悬挂式气相沉积加速筒，包括加速筒和接收装置，所述接收装置安装在加速筒的底端，所述加速筒中安装有降温筒，所述降温筒上开设有固定插孔，且固定插孔设有两个，所述降温筒的底端面中部固定连接有连接杆，所述降温筒的内部固定安装有螺旋降温管，所述螺旋降温管的两端均固定连接有连接管，且所述连接管固定焊接在固定插孔的内部，所述降温筒的上端通过螺栓固定安装有密封盖，所述密封盖的上端固定安装有固定悬挂板，所述接收装置的底部安装有接水斗，所述接水斗的上端中部固定安装有固定杆，所述固定杆的上端固定安装有滑

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213255464 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202021741776.6 (22)申请日 2020.08.20 (73)专利权人苏州派华纳米科技有限公司