一种晶圆加工用自动卸料研磨装置.pdfVIP

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2023-03-06 发布于北京
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一种晶圆加工用自动卸料研磨装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，包括传送带主体，所述传送带主体的上方中部设置有研磨主体，所述传送带主体的外表面等距离的安装有橡胶工位，所述传送带主体的中部下方安装有安装座，所述安装座的内部转动安装有驱动轴，所述驱动轴靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆与反向蜗杆，所述正向蜗杆与反向蜗杆的侧面均啮合有蜗轮，所述蜗轮的中部固定有凸轮轴，所述凸轮轴的上端穿过安装座的上表面，且凸轮轴的上端固定有凸轮，述伸缩杆靠近传送带主体中心的一端固定有弧形压板，本实用新型的两个弧形压板能够将晶圆挤压住，在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213258871 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202021578564.0 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人坂口电子机械（上海）有限公司