量产型高效光伏电池三合一镀膜设备.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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量产型高效光伏电池三合一镀膜设备.pdf

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本实用新型公开了量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，涉及TOPcon电池背面钝化领域，光伏企业的TOPCON电池选用的钝化膜结构为Al2O3/SiNx双层膜或SiO2/Al2O3/SiNx三层膜结构，上述三层膜结构通常需要三台以上设备来制作，本实用新型通过一个镀膜设备就可完成上述镀膜，设计有炉管，炉管两端安装有法兰，所有气体均通过法兰上的进气孔进入石英管内,并且密封石英管内与外界,有冷却水可在法兰内部流通,给法兰降温,避免橡胶密封圈融化，所述法兰四周均匀分布进气孔，保证气源通入均匀。使镀膜工艺更简

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213242577 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021710165.5 C23C 16/44 (2006.01)