内设掩膜层的感光干膜.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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内设掩膜层的感光干膜.pdf

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本实用新型涉及一种内设掩膜层的感光干膜，它包括保护膜、感光层和掩膜层；所述保护膜覆盖于感光层的一侧表面，所述掩膜层覆盖于感光层的另一侧表面，掩膜层表面印制有特定的掩膜图案，掩膜图案采用遮光颜料印制，图案区域遮挡UV及可见光，非图案区域可透过UV及可见光。本实用新型的目的在于提供一种内设掩膜层的感光干膜，其将柔性掩膜集成于感光干膜内，实现曝光设备简化，提高生产节拍，优化了精细图案的图案转移效果。本实用新型的优点在于：本实用新型将柔性掩膜版集成于感光干膜中，替代光学承载膜层，曝光时无需曝光掩膜，曝光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213240798 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022416098.2 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人福建金石能源有限公司