用于半导体零部件的表面涂层设备.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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用于半导体零部件的表面涂层设备.pdf

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本实用新型涉及涂层设备技术领域，且公开了用于半导体零部件的表面涂层设备，包括固定台，所述固定台外侧设置有熔射机箱，且所述熔射机箱与所述固定台固定连接，所述固定台左侧后方设置有电动机，且所述电动机与所述固定台活动连接，所述固定台顶端设置有传输辊，且所述传输辊与所述固定台活动连接。该用于半导体零部件的表面涂层设备，通过熔射机箱、熔射枪和金属线很好的配合，形成有机整体，熔射机箱中的控制器使整台设备实现了半自动化，气源管及其支管对两金属线的吹气雾化自然而高效，吹出的熔射流及时进入末端槽并进一步进入熔射分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213232456 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022249310.0 (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人江苏凯威特斯半导体科技有限公