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一种单晶圆搬运装置.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种单晶圆搬运装置.pdf

    本实用新型涉及一种单晶圆搬运装置，包括CST进料单元，CST进料单元上置有用于放置晶圆的晶圆载体，晶圆载体由水平输送模组运送至提升工位，并经提升机构提升至晶圆夹爪转台单元的取货位置，晶圆夹爪转台单元包括转台和晶圆框边夹持气爪，晶圆框边夹持气爪在转台的带动下旋转至取货位置夹取晶圆，并将晶圆输送至晶圆对中单元正上方取片位置，晶圆对中单元包括行程可调气缸以及顶针，晶圆对中单元通过顶针托举正上方的晶圆，并由顶针将晶圆向下输送至晶圆对中单元的对中位置，真空吸盘单元用于吸取晶圆对中单元上的晶圆，并将晶圆输送

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213278047 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202022694384.5 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人 冠礼控制科技（上海）有限公司

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