一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐.pdfVIP

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2023-03-07 发布于四川
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一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐.pdf

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本实用新型涉及到一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐，该混合罐(207)内部为包括涡流混合道(216)、缓冲回流槽(217)和热水浴区域(218)的三层结构，在混合罐(207)的底部设有罐体入口(222)，顶部设有罐体出口(223)，罐体入口(222)联通涡流混合道(216)，缓冲回流槽(217)联通加热氮气输入端口(214)，热水浴区域(218)联通超纯水输入端口(212)和超纯水输出端口(213)，罐体出口(223)联通混合后气液共存体输出端口(215)；混合罐(207)通过上安装块

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218553709 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202222389335.X B01F 35/45 (2022.01)