1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种集成电路封装的腔内气体控制系统.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.22千字
  • 约 9页
  • 2023-03-07 发布于四川
  • 举报

一种集成电路封装的腔内气体控制系统.pdf

    本实用新型公开了一种集成电路封装的腔内气体控制系统，包括封装台，所述封装台的顶部通过铰链铰接有顶盖，封装台的顶部设置有封装台凸块，封装台的底部固定安装有真空泵，封装台的底部固定安装有位于真空泵右侧的封装台真空管，所述顶盖的顶部设置有泄压阀，顶盖的顶部设置有位于泄压阀右侧的气压表，顶盖的一侧固定安装有顶盖真空管，顶盖的底部设置有顶盖凸块，所述封装台凸块的顶部开设有密封圈槽，所述顶盖凸块的底部开设有密封圈槽，所述密封圈槽固定安装有密封圈，所述封装台真空管的一端与真空泵固定安装。本实用新型解决了集成电

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213278012 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202022095632.4 (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人 江苏盐芯微电子有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >