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一种磁控溅射磁棒的冷却系统.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种磁控溅射磁棒的冷却系统.pdf

    本实用新型涉及磁控溅射磁棒的冷却系统，包含有设置于型材外部的外围板，外围板外部沿其长度方向设置有两根凸条；外围板在凸条左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板，水流通道板一侧设置有弯钩状的弧形槽，凸条嵌入该弧形槽中；水流通道板内部呈中空状，形成二次侧冷却通道，水流通道板由内侧板和外侧板构成；内侧板与外围板之间形成一次侧冷却通道；外侧板上均匀分布有多个小孔状出口；外围板和水流通道板的下端设有盖帽，盖帽上开设有与一次侧冷却通道相连通的进水口；外围板和水流通道板的上端设置有堵头，一次侧冷却通道的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213295493 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202021764378.6 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人 梭莱镀膜工业(江阴)有限公司

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