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微液滴器件制备 微液滴器件制备一直是微纳加工与技术领域的重要和实质性研究课题。借助微液滴器件对原料进行控制、连续滴定和微量分析等方式实现微纳生物化学传感器的自动测定和分析。微液滴器件主要利用压力差和表面张力的基本物理原理，利用原料的压力差、表面张力抑制能力，将液体滴定到特定的物理形状中，从而实现微液滴的制备成功。 目前，微液滴器件的制备主要通过两种方法：光刻蚀刻法和表面自组装法。用光刻蚀刻微结构的方法主要有硅胶蚀刻法，树脂蚀刻法，或者利用X射线光刻机刻蚀微结构。利用表面自组装法生成微液滴器件的研究大多将利用表面官能团亲和力、酸-碱平衡体系进行表面活性物质的改性，从而调节原料的表面张力，实现吸附表面减小原料表面张力，最终实现液体微滴定形成。 在实验中，通常使用正距离无样异质微孔板即可获得，其中有四种可调节水势垒，具备了半微米大小和宽度精度。此外，液体流量处理喷头可以通过控制灌料流速和压力来控制液体流量调节。利用微孔板或调节喷头实现系统的液体调节，从而可以实现原料的控制，连续滴定和检测测试。  在微液滴器件的制备过程中，一般都需要调节和精确控制水势垒、液体分布、表面张力和表面活性物质等多方面因素，以保证微液滴器件中液体又能完全分裂又能有效地滴定到物理形状中。另外，需要建立实用的灌料流量处理喷头，以满足微孔板的校正要求，从而能够实现连续的滴定检测，以实现高精度的检测和分析。 总而言之，微液滴器件制备，通过调节原料势垒、表面张力和表面活性物质，在正确的参数值下，实现微液滴的制备，从而使微纳生物化学传感器具备自动检测和分析能力。