一种用于MPCVD设备的真空检测装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的真空检测装置,属于MPCVD设备真空检测技术领域,包括MPCVD设备本体和真空检测仪,通过在检测喷头的一侧设有安装板,且在安装板的一侧设有密封板,提高MPCVD设备本体与真空检测仪之间的密封性,方便使用,便于检测探头对MPCVD设备本体内部进行真空检测,且在检测探头上套接有轴承,当长时间使用时,驱动电机带动齿轮转动,使得齿轮带动齿轮环转动,进而使得转动环在轴承上进行转动,使得转动环带动固定杆转动,进而使得毛刷对检测探头进行清扫,避免长时间使用时杂物附着在检

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213336613 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022457368.4 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人 美若科技有限公司 地

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