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晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，晶圆加热装置包括：发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；加热管，伸入所述加热腔以进行加热，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆；其中，所述加热管均匀分布于所述加热腔以使所述加热面对所述晶圆均匀加热。其采用发热支撑台、加热管和加热盘相配合，使得加热盘的上表面形成加热面，可以对晶圆整个面进行加热。根据本实用新型实施例的晶圆加热装置可以应用

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213315983 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021418334.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2

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