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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开一种PECVD双电极连接结构，包括第一A舟电极、第二A舟电极、A舟电极连接块、B舟电极舟耳连接块、第一B舟电极、第二B舟电极、B舟、A舟、炉门，所述第一A舟电极从炉门引入一直延伸至A舟的末端并且与A舟末端的舟脚相连接，所述第二A舟电极从炉门引入延伸至A舟的前端并且与A舟前端的舟脚相连接；所述第一B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的下舟耳相连接，第二B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的上舟耳相连接。该种PECVD双电极连接结构通过双舟工艺的特殊双电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327827 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202021091405.8
(22)申请日 2020.06.12
(73)专利权人 深圳市大族光伏装备有限公司
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