原创力文档- 0
- 0
- 约5.74千字
- 约 7页
- 2023-03-08 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种冷壁法CVD沉积装置，包括底座、沉积管、马达和弹性块，所述底座的底表面固定安装有沉积箱，沉积箱的顶端内部贯穿安装有沉积管，所述沉积管的内部中间固定安装有轴座，轴座中间设有框架，且框架通过轴杆转动安装在轴座的中间，所述框架的内部开设有嵌口，嵌口的内部一侧开设有第二凹口，嵌口的内部另一侧设有第一凹口，第一凹口开设在抵板的内部。本实用新型在沉积管的内部中间固定安装了一个可翻转的框架，将需要加工的晶片嵌入固定在框架内部，在沉积加工晶片一面后工作人员可控制马达转动框架使其晶片另一面可被
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327826 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022042738.8
(22)申请日 2020.09.17
(73)专利权人 山东沐东真空科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种方便外出组装式心电记录仪.pdf
- 自来水户外地埋式水表井.pdf
- 一种汽车内饰板的打孔装置.pdf
- 一种纸尿裤生产用贴标装置.pdf
- 一种冲压机模具.pdf
- 一种新型淋浴房后背快速连接结构.pdf
- 一种可拆卸替换夹层锅.pdf
- 一种衬板总成门铰链焊接工装.pdf
- 基于NB-IOT通信技术的医用冷链监测物联网系统.pdf
- 一种重量与重心测量装置.pdf
- 计量规程规范 JJF 2476-2026腹膜透析机校准规范.pdf
- 《JJF 2465-2026天然气在线硫化氢气体检测仪校准规范》.pdf
- JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范.pdf
- 《JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范》.pdf
- 计量规程规范 JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- 《JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范》.pdf
- 《JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范》.pdf
- JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
文档评论（0）