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一种全自动子母环脱膜机.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种全自动子母环脱膜机.pdf

    本实用新型公开一种全自动子母环脱膜机，包括机架，机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、第二脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶；所述上料装置供待加工的子母环放置，所述取料装置将子母环移至预热加工位预热，所述上料机械手将子母环移至脱膜装置上，所述脱膜装置脱除子母环的子环、母环和蓝膜，两个所述晶圆成品盒分别设置在两个所述的脱膜装置下部，所述晶圆成品盒供子环和母环盛放，所述收料机械手将蓝膜运送至蓝膜打包装置，所述蓝膜打包装置将蓝膜折

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213304084 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022932274.8 (22)申请日 2020.12.09 (73)专利权人 厦门市弘瀚电子科技有限公司

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