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真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机.pdf

    本实用新型涉及抛光机技术领域，且公开了真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，包括机体、离子束抛光装置、光学零件夹具、抽真空装置以及真空室，所述离子束抛光装置设置于所述真空室的顶部，所述光学零件夹具设置于所述真空室的底部，所述抽真空装置设置于所述机体的侧壁上，所述真空室的内部后侧横向设有往复丝杆，所述往复丝杆的两端均通过滚动轴承与所述真空室的左右两侧转动连接，所述机体的左侧壁固定设有电机，所述往复丝杆的左端贯穿至所述机体的外部并与电机的输出端固定连接。本实用新型能够将真空室内部的污染物

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213319168 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022268957.8 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人 常州卓研精机科技有限公司

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