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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型涉及硅片沉积技术领域，公开一种石英舟及硅片沉积装置。其中石英舟包括第一端板、第二端板、至少两个支撑杆、第一舟杆和第二舟杆，第一端板和第二端板沿X方向间隔设置，支撑杆一端与第一端板连接，另一端与第二端板连接，第一舟杆与上部支撑杆连接，硅片能沿X方向立设于一对第一舟杆之间，且一对第一舟杆分别与硅片的两侧边抵接；第二舟杆与下部的支撑杆连接，第二舟杆与硅片的底边抵接。本实用新型通过设置第一舟杆和第二舟杆，实现对硅片的承载，且放置于第一舟杆和第二舟杆上的硅片与X方向平行，气流能均匀地流向每片硅片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213340306 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022644709.9
(22)申请日 2020.11.16
(73)专利权人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公
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