一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约8.77千字
  • 约 12页
  • 2023-03-08 发布于四川
  • 举报

一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂.pdf

本实用新型公开了一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂,包括花篮夹爪和连接花篮夹爪的夹爪臂;花篮夹爪包括支撑板和设置在支撑板两侧的伸缩装置;伸缩装置的推杆端连接花篮夹紧板;夹爪臂包括上基板和下基板;上基板和下基板间通过固定架连接;上基板上设有丝杆驱动电机,丝杆驱动电机连接丝杆;丝杆上设有丝杆螺母;丝杆螺母连接定位板;下基板上设有中空法兰盘减速机,中空法兰盘减速机的旋转面连接支撑板,中空法兰盘减速机可驱动支撑板旋转。针对现有半导体晶片花篮的结构,做出适应性调整,解决现有技术中,无针对半导体晶片花

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213340321 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022217129.1 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人 无锡市泰瑞电子设备制造有限公

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档