重掺砷低电阻掺杂器具.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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重掺砷低电阻掺杂器具.pdf

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一种重掺砷低电阻掺杂器具，包括石英盖、石英罩，石英罩的内部固定设置有混合引流件，混合引流件外壁的中间位置固定设有支撑连接板，支撑连接板与石英罩的内壁固定连接，使支撑连接板、石英罩、混合引流件之间形成一个用于盛放固体砷的盛放腔，石英罩的顶部设置有定位凹台，石英盖设在定位凹台内，石英盖的下端延伸至混合引流件内；通过将固体砷放入到盛放腔内，利用氩气将挥发的砷从盛放腔引入到混合引流件内，使挥发的砷充分混合均匀，并利用混合引流件将氩气及挥发的砷加速后向下流出，使挥发的砷与硅溶液接触，并使挥发的砷充分溶解到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327924 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022046964.3 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公