1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种晶圆电镀装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.9千字
  • 约 10页
  • 2023-03-08 发布于四川
  • 举报

一种晶圆电镀装置.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆电镀装置，包括：电镀槽，所述电镀槽包括槽体；电力线挡板，所述电力线挡板竖直放置在所述槽体的中间位置，所述电力线挡板为圆形板，所述电力线挡板上设有挡板通孔，所述电力线挡板位于所述槽体的下半部分的两侧对称设有电镀遮挡部，所述电镀遮挡部为由遮挡直线和遮挡弧线围成的封闭区域，所述遮挡弧线与所述电力线挡板相切，所述遮挡弧线与所述电力线挡板的切线至所述遮挡直线的间距为2‑4cm；阳极材料板，所述阳极材料板靠近所述槽体一侧的内壁设置；晶圆固定部，所述晶圆固定部靠近所述槽体的远离所述阳极材

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327878 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021137557.7 (22)申请日 2020.06.18 (73)专利权人 宁

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >